Установка МЛЭ MBE-800P

Кластерная система МЛЭ MBE-1000 предназначена для эпитаксиального роста на подложках 5×3″, 4×4″, одной 6″ или одной 8″ и идеально подходит для массового производства. Конфигурация включает 10 или 12 портов для испарительных источников. Кластерная система переноса объединяет шлюзовую камеру, камеру предварительной обработки, ростовую камеру и камеру хранения на круговой транспортной камере с роботом-манипулятором для кассет 10″. In-situ мониторинг — RHEED, BFM, RGA.

Установка молекулярно-лучевой эпитаксии MBE-800 предназначена для эпитаксиального роста материалов на 4-дюймовых пластинах. Стандартная версия оснащена двухзонным нагревателем подложки и 12 портами для испарительных источников, обеспечивая послойный рост сложных тонких плёнок. Модифицированная версия поддерживает ионно-лучевое напыление. Система отличается надёжностью, универсальностью и компактностью, подходит для прикладных исследований.

Система MBE-2000 — промышленная установка молекулярно-лучевой эпитаксии, экономичная, высокопроизводительная. До 9×4″, 4×6″, 15×3″ или 32×2″ подложек. Полная автоматизация переноса образцов, калибровки пучка и эпитаксиального роста обеспечивает круглосуточный режим серийного производства. In-situ мониторинг в реальном времени — RHEED, BFM, RGA — и резервные порты для дополнительного контрольного оборудования. Модульная мульти-камерная конфигурация с двумя независимыми ростовыми модулями.

Система MBE-600 хорошо подходит для работы с материалами III-V и II-VI групп, обеспечивая эпитаксиальный рост структур на подложках 1, 2 и 3 дюйма. Конструкция с вертикальной камерой и современные компоненты гарантируют точный послойный рост. Система отличается надёжностью, универсальностью и компактностью, что делает её особенно подходящей для научно-исследовательских работ. Стандартная версия включает 10 портов: 7 фланцев DN63CF (4,5″) и 3 фланца DN35CF (2,75″).