| Конфигурация | MBE-2000 MBE system | |
| Ростовая камера | Размер камеры | 1300mm I.D. |
| Азотная ловушка | Стандартная комплектация | |
| Максимальная температура нагревателя подложки | 1000℃ | |
| Стабильность температуры нагревателя подложки | ±0,2°C | |
| Максимальный размер подложки | 9×4″, 4×6″ | |
| Максимальная скорость вращения подложки | 40RPM | |
| Конфигурация паровых источников | CF200x12 | |
| Заслонка испарительного источника | Моторизованный привод | |
| Температура прогрева | 200℃ | |
| RHEED | 15-30 кэВ | |
| RGA | 0-200amu | |
| Предварительная обработка | Максимальная температура нагревателя предварительной обработки | 800℃ |
| Шлюзовая камера быстрой загрузки | Платформа парковки образцов | 10 шт. |
| Инфракрасная лампа прогрева | Опционально | |
| ПО MBE | Руководство пользователя | Стандартная комплектация |
| Опционально | Шлюзовая камера | Опционально |
| CCD камера | Опционально | |
| Полностью автоматический бокс | Опционально | |
| Система утилизации загрязнений | Опционально | |
| Система утилизации вторичного фосфора | Опционально | |
| Насосная тележка | Опционально | |
| Вакуумная система освещения | Опционально | |
| Система мониторинга реальной температуры подложки BTM-100 | Опционально | |
| Система мониторинга пучка методом атомной абсорбционной спектроскопии AAFM-3 | Опционально | |
После получения информации наши специалисты свяжутся с вами
Некоторые продукты могут быть изготовлены по индивидуальному заказу
Ваша информация будет сохранена в тайне
Русский
Ваше местоположение:
Горячая линия
Детальный запрос