| Конфигурация | MBE-600 | |
| Ростовая камера | Размер камеры | 450mm I.D. |
| Вакуум | <2×10-10мбар | |
| Азотная ловушка | Стандартная комплектация | |
| Предельный вакуум при прохождении жидкого азота через ловушку | <5×10-11мбар | |
| Максимальная температура нагревателя подложки | 1000℃ | |
| Стабильность температуры нагревателя подложки | ±0,5°C | |
| Максимальный размер подложки | 3inch | |
| Вращение подложки | 60RPM | |
| Конфигурация паровых источников | CF35×3／CF63×7 | |
| Заслонка испарительного источника | Моторизованный привод | |
| Ионный манометр | 1×10-3~2×10-11мбар | |
| Температура прогрева | 200℃ | |
| Камера предварительной обработки | Вакуум | <2×10-10мбар |
| Максимальная температура нагревателя предварительной обработки | 450℃ | |
| Ионный манометр | 1×10-3~2×10-11мбар | |
| Шлюзовая камера загрузки | Вакуум | <1×10-8мбар |
| Платформа парковки образцов | не менее 4+2 | |
| Инфракрасная лампа прогрева | Опционально | |
| Кластерная камера | Вакуум | <5×10-10мбар |
| Давление при переносе образцов | <1×10-9мбар | |
| Ручной / полностью автоматический | Опционально | |
| Ионный манометр | 1×10-3~2×10-11мбар | |
| Управление системой | Сенсорная панель управления | Стандартная комплектация |
| Программирование процессов роста | Стандартная комплектация | |
| Автоматическое управление ростом | Стандартная комплектация | |
| Непрерывная запись данных | Стандартная комплектация | |
| Функция защиты от тревог | Стандартная комплектация | |
| Функция блокировки | Стандартная комплектация | |
| Опционально | CCD | Опционально |
| Бокс с перчаточным доступом | Опционально | |
| Система рекуперации фосфора | Опционально | |
| Система инфракрасного измерения температуры подложки | Опционально | |
| Вакуумная система освещения | Опционально | |
| SMS | Опционально | |
После получения информации наши специалисты свяжутся с вами
Некоторые продукты могут быть изготовлены по индивидуальному заказу
Ваша информация будет сохранена в тайне
Русский
Ваше местоположение:
Горячая линия
Детальный запрос