Вакуумные технологии

Сверхвысокий вакуум (UHV) — это вакуумное состояние с давлением ниже 1×10^-8 mbar. В такой среде количество газовых молекул крайне мало, средняя длина свободного пробега составляет десятки километров, и они находятся в состоянии молекулярного потока. Почти все молекулярные взаимодействия происходят на поверхностях камеры. Типичная атомная плотность твёрдой поверхности составляет около 10¹⁵ см^-2. При полной адсорбции молекул, сталкивающихся с поверхностью, для образования молекулярного монослоя при давлении 10^-6 mbar требуется всего несколько секунд, тогда как при вакууме 10^-10–10^-11 mbar это время составляет от нескольких часов до десятков часов. Поэтому чистые поверхности материалов должны быть получены и поддерживаться в среде сверхвысокого вакуума.

Применение UHV

Применение технологии UHV охватывает широкий спектр областей, включая материаловедение, науку о поверхностях, полупроводниковую промышленность и оптические исследования. В среде сверхвысокого вакуума исследователи могут более точно изучать свойства материалов, исследовать поверхностные химические реакции и микроструктуры, а также применять их в передовых областях, таких как производство высокопроизводительных электронных устройств.

Технология сверхвысокого вакуума в основном включает получение, измерение и поддержание UHV, а также перемещение в условиях UHV. Компания Fermion Instruments успешно освоила ряд точных и сложных технологий, связанных с условиями сверхвысокого вакуума, включая эффективные системы вакуумных насосов, выбор и обработку специальных материалов, точное проектирование вакуумных камер и точные системы измерения и контроля вакуума. Совместное использование этих технологий позволяет среде сверхвысокого вакуума не только обеспечивать чрезвычайно низкое влияние газовых молекул, но и стабильно поддерживать это высоковакуумное состояние. Мы успешно разработали ряд ключевых компонентов вакуумных систем и получили 28 авторизованных патентов в области вакуума.

Компоненты сверхвысокого вакуума

Наши собственные вакуумные компоненты удовлетворяют потребности в многомерном линейном и вращательном перемещении в условиях сверхвысокого вакуума, а также обеспечивают стабильную и точную передачу образцов в вакуумных системах.

Все вакуумные компоненты изготовлены из материалов, совместимых со сверхвысоким вакуумом, и могут стабильно работать в диапазоне рабочего давления от 10^-11 mbar до 1 bar.

Линейная система межсоединений для сверхвысокого вакуума

Линейная система межсоединений для сверхвысокого вакуума может интегрировать различные функциональные устройства, такие как подготовка материалов, обработка материалов, характеризация и измерения, для проведения комплексных исследований физических свойств на всём протяжении жизненного цикла материала.

Линейная система межсоединений имеет модульную конструкцию с высокой масштабируемостью, предельный вакуум может достигать 10^-11 mbar.

Кольцевая система передачи образцов

Кольцевая система передачи образцов основана на модульной конструкции многоканальной системы передачи с компактной структурой и эффективной работой. Она подходит как для небольших лабораторных систем, так и для крупномасштабных оборудованных платформ.

Предельный вакуум кольцевой системы передачи может достигать 10^-11 mbar, используется технология твёрдой смазочной плёнки, что обеспечивает надёжность и долговечность.