Термический источник крекинга серии AH

Источник крекинга серии AH — экономичный источник атомарного водорода, обеспечивающий крекинг высокочистого H₂ при 1800–2200°C. Применяется для очистки подложек, удаления оксидов, стимулирования атомарной миграции и регулирования скорости роста GaN. Вольфрамовый нагреватель дополнен водоохлаждаемыми фланцами для снижения теплового излучения. Специальная диффузорная пластина контролирует распределение атомарного водорода. Источник производит только атомы и молекулы H₂, не повреждая подложку.