Контроллер электронно-лучевого источника

Высокоточный сервоконтроллер — шестиосевая система управления движением, объединяющая фирменное ПО, высокопроизводительный сервопривод и собственные электрические схемы. Устройство оптимально подходит для промышленных и научно-исследовательских применений, обеспечивая высокую эффективность, точность и надёжность. Поддерживает режимы позиционирования, управления скоростью, моментом и полного замкнутого контура. Совместим с 6-осевым держателем образцов с фотоэлектрическим энкодером.

Нагревательная лента и терморегулятор — комплект для прогрева газовых магистралей и технологических трубопроводов, предотвращения конденсации паров прекурсоров и обеспечения стабильности газового потока. Метод оборачивания трубопровода лентой отличается гибкостью. Поставляемая Fermion Instruments лента долговечна и не выделяет запаха при прогреве. Совместимый источник питания регулирует мощность по обратной связи от термопары и поддерживает температуру с помощью ПИД-регулирования.

Промышленная HDMI-камера оснащена КМОП-сенсором с разрешением 16 мегапикселей и 10-кратным трансфокатором с переменным фокусным расстоянием 13–130 мм. Предусмотрена ручная регулировка фокуса, диафрагмы и фокусного расстояния. Камера предназначена для применения в системах машинного зрения, робототехнике и визуальном контроле, в том числе при наблюдении за процессами в вакуумных камерах через смотровые окна CF40 и CF63. Высокое разрешение делает камеру универсальным инструментом.

Терморегулируемый источник питания постоянного тока объединяет термоконтроллер серии Eurotherm 3000 с источником постоянного тока. Выход источника управляется ПИД-регулятором по обратной связи от термопары, обеспечивая стабильное терморегулирование. Применяется с низко-, средне- и высокотемпературными испарительными источниками, держателями образцов и реакционными ячейками Fermion Instruments. Прибор в 19-дюймовом корпусе 2U легко интегрируется в стойки.

Системы лазерного нагрева с волоконным выводом излучения предназначены для быстрого и равномерного бесконтактного нагрева образцов в сверхвысоком вакууме без модификации вакуумной системы. В одном корпусе объединены волоконно-оптический модуль, лазерный источник питания, ПИД-регулятор и инфракрасный пирометр, замыкающий контур обратной связи. Реализованы режимы стабилизации тока, температуры и импульсного управления. Двойная защита от перегрузки и статического электричества, термозащита.

Серия DCPS — мощные программируемые источники питания постоянного тока с цифровым управлением для прецизионного электропитания и регулирования температуры испарительных источников, эффузионных ячеек и нагревательных элементов в установках МЛЭ. Обеспечивают плавно регулируемое напряжение и ток с низкими пульсациями для воспроизводимого эпитаксиального роста. Встроенный ПИД-регулятор с обратной связью от термопары стабилизирует терморегулирование. Программная калибровка.

В системах молекулярно-лучевой эпитаксии требуется точное управление пучками нескольких источников, для чего обычно применяются пневматические заслонки с электромагнитными клапанами. 8-канальный контроллер Fermion Instruments позволяет подключать и управлять группой до восьми клапанов. В ручном режиме заслонкой можно управлять с беспроводного пульта. В автоматическом режиме фирменное ПО выполняет переключение и реализует управление комбинациями заслонок.