Парковочная станция образцов

Захватное устройство для образцов устанавливается на другие устройства переноса образцов, такие как магнитно-связанный шток переноса MTA, для перемещения образца в заданное место в сверхвысоковакуумной системе. Прост в эксплуатации: держатель образца можно зафиксировать или освободить, нажав и повернув захватное устройство на 90°. Обладает компактной конструкцией и может проходить через очень узкие трубки в кластерных МЛЭ-системах.

Магнитно-связанный шток переноса образцов имеет полностью закрытую сварную конструкцию, приводится в действие внутренней и внешней магнитной муфтой для обеспечения расширения, сжатия и вращательного движения в условиях сверхвысокого вакуума.

Полностью закрытая сварная конструкция подъёмного магнитно-связанного штока переноса образцов приводится в действие внутренней и внешней магнитной муфтой, обеспечивая линейное и подъёмное движение в сверхвысоком вакууме. Внутри расположено устройство защиты от вращения для предотвращения вращения внутреннего штока. Преобразует внешнее вращательное движение во внутреннее подъёмное движение. Максимальный ход подъёма составляет 50 мм.

Сверхвысоковакуумный робот-манипулятор обеспечивает линейное и вращательное движение через связь внутренних и внешних магнитов. Фланцевое крепление использует сварную сильфонную конструкцию с максимальным углом отклонения до 20°. Дополнительно предлагаются двухосные сверхвысоковакуумные роботы-манипуляторы: внутренний вал выдвигается вперёд и назад с помощью ручки и в сочетании с захватным устройством обеспечивает захват образцов в кластерных МЛЭ-системах.