Ваше местоположение:
Оборудование
>Исследования
>Подготовка тонких плёнок
>Система ALD
> Настраиваемый держатель образцов для АСО
| ● Режим работыСовместимость с режимами непрерывного осаждения и стационарного осаждения | ● Газовый тракт прекурсора:многоканальная конструкция, возможно изготовление на заказ | ● Точность температуры:±1℃ |
| ● Рабочие газы:O2，H2，N2，NH3Может использоваться для генерации плазмы | ● Равномерность температуры реакционной камеры:≥99% | ● Источник питания плазмы:300W RF power supply (including automatic matching device) |
После получения информации наши специалисты свяжутся с вами
Некоторые продукты могут быть изготовлены по индивидуальному заказу
Ваша информация будет сохранена в тайне
Русский
Горячая линия
Детальный запрос