Газовый пульт высокой чистоты

Панель высокочистых газовых магистралей предназначена для подачи рабочих газов с чистотой лучше 100 ppt к источникам ВУФ-излучения. Многоканальная конфигурация позволяет подключать несколько газов — He, Ne, Ar, Kr, Xe — и оперативно переключаться между ними без разгерметизации системы. Прецизионное регулирование расхода 0,1–10 sccm обеспечивает стабильность и продлевает срок службы лампы. Панель выполнена по стандарту полностью металлических магистралей с фитингами VCR.