Ваше местоположение:
Оборудование
>Пассивация
> Установка скалывания и нанесения покрытий в условиях сверхвысокого вакуума
| Шлюзовая камера загрузки/выгрузки образцов | |
| ● Кассеты для образцов на 10 ярусов, единичная кассета с несколькими станциями; ● Инфракрасная лампа прогрева для быстрого обезгаживания образцов; ● Модуль дистанционной плазменной очистки конструктивных элементов (кассеты, рамки для образцов) обеспечивает эффективное повышение чистоты и вакуума в камере; ● Независимая работа камер ввода и вывода образцов повышает эффективность производства. | |
| Кольцевая транспортная камера | |
| ● Множественные боковые фланцевые порты для подключения нескольких подсистем, которые работают независимо и не влияют друг на друга; ● Робот-манипулятор с вращением на 360° и телескопическим перемещением; ● Взаимодействие с датчиками и обратной связью управления обеспечивает полностью автоматическую передачу образцов. | |
| Камера скалывания | |
| ● Скалывание и штабелирование лазерных диодов; ● Множественные образцы обрабатываются партиями за один цикл. | |
| Камера пассивации и нанесения покрытий | |
| ● Множественные нижние фланцевые порты, совместимые с источником с горячей печью, электронно-лучевым испарительным источником, ВЧ-плазменным источником, источником крекинга и др.; ● Температура нагревателя подложки 650±0,5 °C; ● Мониторинг пучка в реальном времени, кварцевый кристалл-резонатор или ВЧ-датчик пучка; ● Мониторинг плёнки в реальном времени с помощью ДБЭЭ; ● Многокоординатная платформа парковки образцов обеспечивает переворот образцов на месте или конфигурирование независимой камеры переворота; ● Система автоматического управления ростом с непрерывной записью данных. | |
После получения информации наши специалисты свяжутся с вами
Некоторые продукты могут быть изготовлены по индивидуальному заказу
Ваша информация будет сохранена в тайне
Русский
Горячая линия
Детальный запрос